ASML 핵심 장비 중국 반입 막을 듯
삼성전자·SK하이닉스 악영향 촉각
일본, 이르면 주 중 수출규제안 발표
2020년 10월 네덜란드 ASML 본사를 방문한 이재용(오른쪽 두번째) 삼성전자 회장이 EUV 노광장비를 살펴보고 있다. 삼성전자 제공
9일 로이터와 AFP 통신 등에 따르면 리에 슈라이네마허 네덜란드 대외무역·개발협력부 장관은 8일(현지시간) 의회에 보낸 서한을 통해 “특정 반도체 생산 장비에 대한 기존 수출 통제 규정을 확장할 필요가 있다”며 관련 규제를 여름 이전에 도입하겠다고 밝혔다. 슈라이네마허 장관은 서한에서 무역 상대인 중국이나 자국 반도체 장비 기업인 ASML은 직접적으로 거론하지는 않았으나, ASML이 생산하는 심자외선(DUV) 노광장비 기술이 영향을 받을 것이라고 명시했다.
그는 수출 통제 강화 이유로 ‘국제·국내 안보적 필요성’을 들며 “이 기술을 최대한 신속하게 감독하는 것이 필요하다. 향후 국가 차원의 통제 목록을 발표할 것”이라고 덧붙였다. 앞서 ASML은 지난달 중국 법인에서 중국인 직원이 독점 기술 관련 정보를 빼돌렸다고 밝힌 바 있다.
지난해 11월 방한해 한국 투자 계획을 밝히고 있는 페테르 베닝크 ASML 최고경영자(CEO). ASML 제공
DUV 노광장비는 스마트폰이나 PC 등 범용 반도체 칩을 만드는 데 쓰이는 보편적인 장비로 삼성전자는 중국 시안 공장에, SK하이닉스는 우시 공장에 ASML의 DUV 장비를 들여와 각각 낸드플래시와 D램 생산에 사용하고 있다. 로이터는 “ASML의 최대 고객사인 삼성전자와 SK하이닉스가 모두 중국 내에 상당한 생산설비를 갖추고 있다”며 이번 조치가 한국 기업에도 영향을 미칠 수 있음을 시사했다.
업계 관계자는 “EUV 장비는 국내 공장 확보가 급선무인 최첨단 장비이지만 DUV는 반도체 제조사라면 누구나 다 쓰고 있는 장비라 네덜란드 정부의 구체적인 발표를 기다리고 있다”라면서 “DUV 공급마저 차단된다면 2~3년 이후부터는 삼성전자와 SK하이닉스 중국 공장 가동에도 악영향을 줄 수 있다”고 우려했다.
아울러 일본 정부도 이르면 이번 주 중 반도체 장비 수출 규제를 강화한 정책을 발표할 것으로 알려졌다.