문승욱 산업통상자원부 장관은 18일 경기 화성에서 네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 피터 베닝크 최고경영자(CEO)를 만나 국내 대규모 투자 결정에 사의를 표했다.

문 장관은 “이번 투자를 통한 ASML과의 협력 강화로 첨단 반도체를 제조하는 우리 기업의 경쟁력 강화가 기대된다”며 “국내 소재·부품·장비 기업들과의 협업을 통해 첨단 장비 관련 소재·부품의 공급 안정성 강화에 힘써달라”고 말했다. ASML은 반도체 미세공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 시장을 독점하고 있어 첨단 반도체를 제조하는 우리 반도체 기업 입장에서 긴밀한 협력이 필요한 글로벌 장비기업이다.

앞서 ASML은 2025년까지 2400억원을 투자해 경기 화성에 EUV 및 심자외선(DUV) 노광 장비 엔지니어를 위한 트레이닝센터와 재제조 센터 등이 있는 첨단 클러스터를 조성하기로 하고, 지난 5월 산업부와 투자 협약을 체결했다. 이후 산업부와 경기도, 화성시 간 협업을 통해 투자 대상 부지 계약이 최근 성사됐다.