최초로 산업공학자가 수상 ’반도체 공정 최적화’ 공로

반도체 공정을 최적으로 제어하는 기술을 개발한 산업공학자인 이태억 한국과학기술원(KAIST) 교수가 올해 12월 ‘이달의 과학기술자상’을 받는다고 미래창조과학부가 2일 밝혔다.

생산·물류 공정의 효율을 높이는 방법을 탐구해 ‘경영학과 공학의 대표 융합 사례’로 꼽히는 산업공학자가 이달의 과학기술자상을 받는 것은 처음이다. 이 교수는 반도체 실리콘 원판인 ‘웨이퍼’를 화학적으로 처리하는 ‘클러스터’ 장비 작업을 수학적으로 분석해 이 공정의 지연 시간을 줄이는 기술을 고안한 공적으로 수상이 결정됐다.

클러스터는 수많은 웨이퍼를 화학처리실(체임버)에 넣고 빼는 작업을 자동 반복하는데 이때 체임버에서 웨이퍼를 늦게 빼는 등의 문제를 방지하고자 타이밍을 최적화하는 방안을 제안한 것이다. 미래부는 이 연구 성과가 반도체 산업의 핵심 경쟁력 지표인 ‘수율’(생산된 전체 반도체 중 정상품질 제품의 비율)을 높일 것으로 기대된다고 전했다.

이 교수는 “물리현상을 실험하는 연구가 아니라 장비 운영 방법과 스케줄링(일정 관리)에 관한 수리적·이론적 연구였던 만큼 대외적으로 인정받기가 쉽지 않은데 상을 줘서 감사하다”고 소감을 밝혔다. 이 교수는 서울대 산업공학과를 졸업한 뒤 1991년 미국 오하이오 주립대에서 산업공학 박사 학위를 받고 같은 해부터 지금까지 KAIST 산업 및 시스템공학과에서 재직하고 있다.

연합뉴스