아시아 첫 세계 원자층 증착기술상

아시아 첫 세계 원자층 증착기술상

입력 2014-06-23 00:00
수정 2014-06-23 01:36
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한양대는 전형탁(54) 신소재공학부 교수가 최근 일본 교토에서 아시아 연구자로선 처음으로 ‘세계 원자층 증착기술상’(ALD Award)을 받았다고 22일 밝혔다.

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전형탁 한양대 교수
전형탁 한양대 교수
원자층 증착기술(ALD)은 반도체 표면에 나노 원자층을 증착시키는 기술로 우리나라가 선도하는 반도체 연구 분야 중 하나다.

2014-06-23 12면
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