전 삼성전자 엔지니어 등 2명 구속·공범 9명 불구속
삼성전자·세메스, 30여년간 2188억 원 투자한 기술
검찰 “유출됐다면 연간 1조 원 국가 손해”

삼성전자와 자회사가 30년간 공들여 개발한 국가 핵심기술을 훔쳐 제작한 반도체 세정장비를 중국에 팔려 한 일당이 재판에 넘겨졌다.

수원지검 방위사업·산업기술범죄수사부(부장검사 박경택)은 중국 반도체 업체의 국내 계열사인 반도체 세정 장비 업체 A사의 운영자 55살 B 씨와 설계 팀장 43살 C 씨를 산업기술보호법 위반 등의 혐의로 구속하고, 같은 회사 직원 9명과 관련 법인 3곳을 불구속 기소했다고 19일 밝혔다.



검찰에 따르면 삼성전자 엔지니어 출신인 B씨 등은 2021년 10월부터 지난해 4월까지 삼성전자 자회사인 세메스 출신 퇴사자로부터 확보한 세정장비 도면과 공정 레시피(장비 구동 세부 절차와 방법을 정리한 문서) 등을 활용해 장비를 제작해 중국에 수출하려 한 혐의를 받고 있다.

또 세정장비 챔버부(장비 내에 구성된 세정 작업이 실제로 진행되는 부분) 도면을 구한 다음, 이를 기초로 새로운 수출용 장비 챔버부를 제작하고 또 세정장비 이송로봇 도면을 도용해 새 로봇을 설계, 제작한 혐의를 받고 있다.



A사가 중국에 팔려 한 반도체 세정기술은 공정 중 발생하는 머리카락 1만분의 1 굵기의이물질을 정밀하게 제거하는 초고난도 핵심기술로 꼽힌다. 정부가 지정한 국가 핵심기술이며 삼성전자와 자회사인 세메스가 30여년간 2188억 원을 들여 세계 최고 수준으로 완성했다.

검찰 관계자는 “피고인들이 유출·부정 사용한 기술자료는, 세정공정 관련 자료와 세정장비의 설계도면 등 반도체 세정 기술로, 만약 기술이 그대로 유출돼 동일·유사 품질의 설비가 대량 생산됐다면 국내 반도체 산업에 회복 불가능한 손해가 발생했을 것”이라며 “이 기술이 유출됐다면 연간 1조 원의 손해가 발생했을 것”으로 추정했다.

B 씨 등은 “세정장비를 자체 개발했다”며 범행을 부인했으나, 검찰이 새롭게 개발한 포렌식 기법으로 자료에 남겨진 ‘디지털 지문’이 확인되면서 삼성전자 등의 기술이 도용된 사실이 밝혀졌다.

검찰은 “과거 기술 유출 범행의 대부분은 외국 기업이 고액 연봉을 내세워 엔지니어들을 영입하는 방식이었으나, 이번 수사로 외국 기업이 직접 한국에 기술 유출 거점업체를 설립해 운영하며 국가 핵심기술을 유출한 것이 확인됐다”라고 밝혔다.

이어 “수원지검은 첨단산업보호 중점 검찰청으로서 국가 핵심기술, 첨단기술을 국외로 유출하는 반국가적 범죄에 엄정하게 대응하겠다”라고 덧붙였다.